উচ্চ বিশুদ্ধতা টাইটানিয়াম স্পটারিং লক্ষ্যগুলি

 

 

উচ্চ বিশুদ্ধতা টাইটানিয়াম স্পটারিং লক্ষ্যগুলি হ'ল উচ্চ - বিশুদ্ধতা টাইটানিয়াম বা টাইটানিয়াম অ্যালো দিয়ে 99.9% থেকে 99.9999% বিশুদ্ধতা সহ তৈরি লেপ লক্ষ্যগুলি।

এগুলি মূলত সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন, ফ্ল্যাট প্যানেল প্রদর্শন, আলংকারিক লেপ এবং ভ্যাকুয়াম সরঞ্জাম সাকশন ক্ষেত্রে ব্যবহৃত হয়।

এর মূল পারফরম্যান্স সূচকগুলির মধ্যে রয়েছে বিশুদ্ধতা, ঘনত্ব (4.506-4.51 গ্রাম/সেমি³), শস্যের আকার (কম বা 50μm এর চেয়ে কম বা সমান) এবং অপরিষ্কার নিয়ন্ত্রণ, যা অবশ্যই এএসটিএম এবং আইএসওর মতো দেশীয় এবং আন্তর্জাতিক মানগুলির সাথে মেনে চলতে হবে।

 

টাইটানিয়াম লক্ষ্যগুলি 0.18μm এবং আরও পরিশোধিত প্রক্রিয়াগুলির প্রয়োজনীয়তা পূরণের জন্য 4N5-6N এর বিশুদ্ধতা সহ টাইটানিয়াম - সিলিকন যৌগগুলি এবং টাইটানিয়াম-} নাইট্রোজেন যৌগগুলির মতো বাধা স্তরগুলি জমা করতে ইন্টিগ্রেটেড সার্কিটগুলিতে ব্যবহৃত হয়।

 

সাজসজ্জার ক্ষেত্রে, চৌম্বকীয় স্পটারিং বিভিন্ন রঙের ফিল্ম স্তরগুলি প্রস্তুত করতে ব্যবহার করা যেতে পারে এবং ভ্যাকুয়াম লেপ উভয়ই উচ্চ আনুগত্য এবং জারা প্রতিরোধের বৈশিষ্ট্যযুক্ত বৈশিষ্ট্যযুক্ত।

এছাড়াও, লাইটওয়েট এবং বায়োম্পোপ্যাটিেবল হওয়ার সুবিধার কারণে চিকিত্সা ইমপ্লান্ট এবং এ্যারোস্পেস লেপগুলির মতো পরিস্থিতিতে টাইটানিয়াম লক্ষ্যগুলি প্রয়োগ করা হয়েছে।

পণ্যের স্পেসিফিকেশনগুলি 50 থেকে 400 মিমি পর্যন্ত ব্যাস এবং 3 থেকে 28 মিমি পর্যন্ত বেধ এবং কাস্টমাইজড প্রয়োজনীয়তা যেমন বাইন্ডিং কপার ব্যাক টার্গেটগুলিকে সমর্থন করে ..

 

 

1) বিশুদ্ধতা

তবে ব্যবহারিক অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে, লক্ষ্য উপকরণগুলির জন্য বিশুদ্ধতার প্রয়োজনীয়তাও পৃথক হয়। উদাহরণস্বরূপ, মাইক্রো ইলেক্ট্রনিক্স শিল্পের দ্রুত বিকাশের সাথে, সিলিকন ওয়েফারগুলির আকার 6 "এবং 8" থেকে 12 "থেকে বিকশিত হয়েছে, যখন তারের প্রস্থটি 0.5um থেকে 0.25um, 0.18um এবং এমনকি 0.13um এ হ্রাস পেয়েছে। পূর্বে, 99.995% এর লক্ষ্যমাত্রার প্রয়োজনীয়তার জন্য 0.35% এর লক্ষ্যমাত্রার প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে পারে। 99.999% বা এমনকি 99.9999%।

 

2) অপরিষ্কার সামগ্রী

ছিদ্রগুলিতে শক্ত টার্গেট উপাদান এবং অক্সিজেন এবং জলীয় বাষ্পের অমেধ্যগুলি জমা হওয়া ফিল্মের দূষণের প্রধান উত্স। বিভিন্ন ব্যবহারের জন্য লক্ষ্য উপকরণগুলির বিভিন্ন অপরিষ্কার সামগ্রীর জন্য প্রয়োজনীয়তাগুলিও পরিবর্তিত হয়। উদাহরণস্বরূপ, সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে ব্যবহৃত খাঁটি অ্যালুমিনিয়াম এবং অ্যালুমিনিয়াম খাদ লক্ষ্যগুলির ক্ষারীয় ধাতু এবং তেজস্ক্রিয় উপাদানগুলির সামগ্রীর জন্য বিশেষ প্রয়োজনীয়তা রয়েছে।

 

3) ঘনত্ব

শক্ত লক্ষ্য উপাদানগুলিতে পোরোসিটি হ্রাস করতে এবং স্পটারড ফিল্মের কার্যকারিতা বাড়ানোর জন্য, সাধারণত এটি প্রয়োজন যে লক্ষ্য উপাদানগুলির তুলনামূলকভাবে উচ্চ ঘনত্ব রয়েছে। লক্ষ্য উপাদানের ঘনত্ব কেবল স্পটারিং হারকেই প্রভাবিত করে না, তবে ফিল্মের বৈদ্যুতিক এবং অপটিক্যাল বৈশিষ্ট্যগুলিকেও প্রভাবিত করে। লক্ষ্য উপাদানের ঘনত্ব যত বেশি, ফিল্মের পারফরম্যান্স তত ভাল। তদ্ব্যতীত, লক্ষ্য উপাদানের ঘনত্ব এবং শক্তি বৃদ্ধি করা স্পটারিং প্রক্রিয়া চলাকালীন তাপীয় চাপকে আরও ভালভাবে প্রতিরোধ করতে সক্ষম করে। ঘনত্বও লক্ষ্য উপকরণগুলির অন্যতম মূল পারফরম্যান্স সূচক।

 

4) শস্যের আকার এবং শস্য আকার বিতরণ

সাধারণত, লক্ষ্য উপাদানের একটি পলিক্রিস্টালাইন কাঠামো থাকে এবং শস্যের আকারটি মাইক্রোমিটার থেকে মিলিমিটার পর্যন্ত হতে পারে। একই টার্গেট উপাদানগুলির জন্য, সূক্ষ্ম শস্যযুক্ত একটি লক্ষ্যমাত্রার স্পটারিং হার মোটা শস্যযুক্ত লক্ষ্যমাত্রার চেয়ে দ্রুত। ছোট শস্য আকারের পার্থক্য (অভিন্ন বিতরণ) এর সাথে লক্ষ্য স্পটারিং দ্বারা জমা হওয়া ছায়াছবির বেধ বিতরণ আরও অভিন্ন।

 

 

 

উ: টাইটানিয়াম টার্গেট উপকরণগুলির ঘূর্ণায়মান এবং ফোরজিং প্রক্রিয়া

হট রোলিং এবং কোল্ড রোলিং প্রয়োজনীয় আকার এবং আকারগুলিতে টাইটানিয়াম উপকরণগুলি প্রক্রিয়া করতে ব্যবহৃত হয়।

ফোরজিং প্রক্রিয়া উপাদানের শস্য কাঠামো উন্নত করে লক্ষ্য উপাদানগুলির যান্ত্রিক শক্তি এবং অভ্যন্তরীণ অভিন্নতা বাড়ায়।

 

খ। সারফেস পলিশিং এবং চিকিত্সা

পৃষ্ঠের পলিশিং নিশ্চিত করে যে লক্ষ্য উপাদানগুলির একটি ভাল পৃষ্ঠের সমাপ্তি রয়েছে এবং স্পটারিংয়ের সময় অসমতা হ্রাস করে।

পৃষ্ঠের চিকিত্সা (যেমন অক্সাইড স্কেল এবং সূক্ষ্ম গ্রাইন্ডিং অপসারণ) স্পটারিং কণাগুলির মসৃণ রিলিজকে বাড়িয়ে তুলতে পারে, যার ফলে লেপের গুণমান উন্নত করা যায়।

 

 

1। লক্ষ্য উপকরণগুলির বিশুদ্ধতা পরীক্ষা

বর্ণালী বিশ্লেষণ যন্ত্রগুলি টাইটানিয়াম টার্গেট উপকরণগুলিতে অপরিষ্কার উপাদানগুলি (যেমন নাইট্রোজেন, অক্সিজেন, আয়রন ইত্যাদি) সনাক্ত করতে ব্যবহৃত হয় যাতে তাদের বিশুদ্ধতা 99.9%এর বেশি পৌঁছেছে তা নিশ্চিত করার জন্য।

 

2। শারীরিক প্যারামিটার সনাক্তকরণ

ঘনত্ব পরীক্ষা: ভিতরে ছিদ্র আছে কিনা তা সনাক্ত করতে লক্ষ্য উপাদানের ঘনত্ব জল স্থানচ্যুতি পদ্ধতি দ্বারা পরিমাপ করা হয়।

পৃষ্ঠের রুক্ষতা পরীক্ষা: লেজার ইন্টারফেরোমিটার ব্যবহার করে লক্ষ্য উপাদানগুলির পৃষ্ঠের সমতলতা মূল্যায়ন করুন।

শক্তি পরীক্ষা: লক্ষ্য করুন যে লক্ষ্য উপাদানগুলির যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্যগুলি টেনসিল পরীক্ষা এবং কঠোরতা পরীক্ষার মাধ্যমে স্পটারিংয়ের প্রয়োজনীয়তাগুলি পূরণ করে।

 

 

 

গরম ট্যাগ: উচ্চ বিশুদ্ধতা টাইটানিয়াম স্পটারিং লক্ষ্যগুলি, চীন উচ্চ বিশুদ্ধতা টাইটানিয়াম স্পটারিং লক্ষ্যগুলি উত্পাদনকারী, সরবরাহকারী, কারখানা